日本 HORIBA 半导体前驱体蒸汽浓度监测仪

日本 HORIBA 半导体前驱体蒸汽浓度监测仪 日本 HORIBA 半导体前驱体蒸汽浓度监测仪

1. 产品概述

IR-300 是 HORIBA STEC 面向MOCVD 金属有机化学气相沉积工艺推出的在线蒸汽浓度监测模块。

设备依托成熟的双光束 NDIR 非分散红外吸收法，实时检测鼓泡法输送的 MO 源（TEGa、TMAl、TMIn 等）蒸汽浓度，直接反馈前驱体供给状态。解决传统依靠温度压力间接推算浓度带来的偏差，实现制程真实浓度闭环监控，广泛用于 LED、光电子器件外延生产线。

2. 测量原理

采用非分散红外吸收法（NDIR）双光束光学系统

红外光源穿过样品气室，被测气体分子吸收特定波长红外光；一路光路为样品检测通道，一路为参考通道。探测器对比两路光强差值换算气体浓度。

双光束结构有效抵消光源衰减、温度漂移影响，光学平台经过 40 余年现场验证，长期稳定性优异。

3. 核心功能特点

✅ 工艺实时在线监测

响应速度快、重复性优良，持续跟踪前驱体蒸汽浓度波动，直观反映鼓泡罐余量、管路压力、温度变化带来的浓度漂移。

✅ 多重校准曲线（可选）

单机可预置最多 3 种化学品 / 多量程曲线，灵活切换不同 MO 源监测需求。

✅ 本地状态显示

机身自带显示窗口，现场直观查看浓度与前驱体供给管线运行状态，便于设备点检。

✅ 丰富工业通讯接口

提供三种通讯版本可选：

数字 / 模拟混合型（RS485 + 模拟信号）

DeviceNet™总线型

可直接接入半导体设备主控系统，实现数据采集与联锁控制。

✅ 紧凑型模块化设计

面对面宽度仅 124mm，无安装方向限制，轻松集成进现有 MOCVD 设备气柜内部。

✅ 长寿命光学组件

高光强长效红外光源搭配高速信号处理，长期运行漂移小，延长平均维护周期 MTTA，减少非计划停机。

4. 给客户带来制程价值

稳定外延工艺，提升器件良率

实时掌握真实前驱体浓度，优化工艺参数，降低批次间差异，提高薄膜均匀性与成品率。

预判鼓泡器更换时机

根据浓度衰减趋势，提前规划 MO 源更换，避免生产中途源耗尽造成批量报废。

减少昂贵 MO 化学品浪费

精准管控蒸汽供给浓度，避免过量输送，降低原材料消耗成本。

增强工艺可追溯与再现性

完整记录浓度曲线，便于工艺开发、故障复盘、量产标准化复制。

5. 典型应用场景

LED、Mini/Micro LED 外延 MOCVD 产线

激光二极管 LD、光电探测器外延制造

化合物半导体、Ⅲ-Ⅴ 族半导体晶圆生产

研发实验室 MOCVD 设备前驱体供给验证