日本 Thermo 半导体全量程全压型真空计

日本 Thermo 半导体全量程全压型真空计 日本 Thermo 半导体全量程全压型真空计

1. 产品核心性能优势

PK361 属于全压复合型真空计，集成皮拉尼 + 冷阴极测量原理，实现宽量程无缝连续真空检测：

量程跨度极大：常压大气压力至高真空 5×10⁻⁹Pa 全程无断点测量，无需更换真空规；

抗干扰稳定性强：规避磁场、微小气流扰动带来的数据漂移，洁净腔体环境下长期测量误差小；

分体式结构：测量探头 + 数字显示控制器分离布局，探头可伸入狭小真空腔体，控制器外置便于人员读数、参数设定；

超高真空适配：腔体接触面为高纯不锈钢材质，超低气体析出，满足半导体、科研精密真空洁净要求；

机身耐用易维护，校准周期长，工业连续工况下使用寿命优异。

2. 完整参数对照表

表格

参数项目PK360（基础款）PK361（超高真空款）

测量真空极限1×10⁻⁷ Pa5×10⁻⁹ Pa

测量探头外形尺寸（不含法兰）44×44×94 mm44×44×102 mm

显示控制器统一尺寸71×129×219 mm71×129×219 mm

真空连接法兰规格NW25 KF 快拆法兰ICF70 金属密封法兰

测量特性全量程连续测压全量程连续测压，超高真空精度升级

3. 两款型号区别说明

PK360：常规高真空版本，极限 10⁻⁷Pa，NW25 快拆法兰，多用于普通实验室真空管路、热处理真空炉；

PK361（主推款）：超高真空专用型号，测量下限提升至 5×10⁻⁹Pa，ICF70 无氧铜金属密封法兰，无橡胶密封圈放气，适配半导体镀膜、分子泵机组、超高真空科研腔体等高洁净场景。

4. 适用用途场景

半导体行业：晶圆镀膜设备、刻蚀机腔体、离子注入机超高真空环境监测；

科研院所：物理实验室超高真空腔体、表面分析仪器、电子束设备真空测控；

工业精密制造：真空热处理炉、溅射设备、航天零部件真空检漏系统；

真空设备配套：分子泵机组、涡轮泵真空系统全程压力监控。