日本 SoftWorks 便携式原子力显微镜

日本 SoftWorks 便携式原子力显微镜 日本 SoftWorks 便携式原子力显微镜

1、产品概述

SoftWorks ハンディ AFM 便携式原子力显微镜，由日本 SoftWorks（ソフトワークス株式会社）研发。整机尺寸小巧，长宽进深仅 15cm，运输便捷。搭载电磁扫描器，规避传统压电陶瓷非线性、老化漂移缺陷，操作简易，支持自动测量，可实现样品三维纳米表面形貌观测。

2、产品性能

双扫描头可快速切换，高分辨率型适合精细纳米观测，广域型适配大范围样品扫描；

探针数秒完成更换，更换后无需校准调试，兼容碳纳米管探针；

采用电磁扫描方案，扫描过程无需移动样品，无压电漂移、迟滞问题；

超高纵向、横向分辨率，低噪声水平，稳定获取纳米级表面数据；

可选配自动位移平台，支持产线在线全自动检测。

3、技术参数表

表格

项目高分解能型广域走查型

最大扫描范围10 μm110 μm

最大 Z 轴量程2.0 μm22 μm

Z 方向分辨率0.000107 nm0.0013 nm

XY 方向分辨率0.00059 nm0.0065 nm

非线性<0.6%<0.6%

Z 噪声水平 (RMS)40 pm90 pm

备注：分辨率数值基于 24bit 运算输出

4、型号说明

产品全称：ハンディ AFM（Handy AFM）便携式原子力显微镜，配置区分依靠两种扫描头：

①高分解能扫描头：微小区域超高精度测量；

②广域走查扫描头：大范围表面形貌检测，两种扫描头可瞬时互换。

5、主要用途

微细线幅测量、掩膜图案检测、研磨抛光效果评价、薄膜台阶高度测定、成膜连续性判定；

高精度模具表面解析、光学元件评估、硬盘磁场观测、DVD 凹凸压模检查、量子点观测、薄膜表面缺陷检查。

6、适用行业

半导体行业、光学零部件制造、新能源光伏（太阳能电池）、新材料研发、精密模具加工、硬盘存储、显示行业、高校科研实验室、薄膜涂层行业、量子材料研究。