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PRODUCT CLASSIFICATION
产品分类
日本 不二制作所 静电吸盘专用压花加工装置日本不二制作所 ATV 静电吸盘专用压花加工装置，专为半导体静电吸盘（ESC）针立压花工艺打造，支持 12 英寸吸盘 6 片同步加工。搭载数控系统精准控制研磨剂喷射，搭配旋风分级、异物去除系统，保障加工均匀稳定，实现批量量产，广泛用于半导体陶瓷静电吸盘精密表面处理。
产品型号：ATV 系列厂商性质：经销商更新时间：2026-08-07访 问 量：10
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日本 不二制作所 静电吸盘专用压花加工装置 日本 不二制作所 静电吸盘专用压花加工装置
1. 产品型号
ATV 系列 静电吸盘专用压花加工装置（PNEUMA-BLASTER 气动喷砂设备），可根据工件尺寸、同时加工数量定制机型。
2. 核心性能
① 高精度均匀加工
采用数字控制系统，精准调控枪头移动、研磨剂喷射量，同一加工面切削量均匀无偏差；支持多工件同等条件加工，压花凹凸尺寸一致性高。
② 稳定研磨循环系统
内置高精度旋风分级单元，持续稳定研磨材粒度；搭载专属研磨剂定量喷射单元，喷射流量可控、持续稳定。
③ 洁净防污染设计
配备异物去除系统，自动清除陶瓷切屑、覆膜碎屑，避免杂质干扰加工精度。
④ 批量量产能力
标准机型可实现12 英寸静电吸盘 6 片同时加工，批处理模式，单机完成多工件加工，减少多台设备带来的品质差异；触摸屏存储加工配方，工艺条件可重复调取。
⑤ 自动化适配
支持机器人上下料，省力化作业，降低人工搬运频次，适合产线持续量产。
3. 主要用途
用于半导体静电吸盘（ESC）表面精密压花（针立加工 / 凹凸纹理加工），在陶瓷吸盘表面加工均匀微观凸起结构，提升晶圆吸附稳定性。
4. 适用行业
半导体芯片制造、半导体陶瓷零部件加工、静电吸盘（ESC）生产厂商、晶圆设备零部件精密加工行业。
5. 优势总结
解决传统设备量产品质不一致痛点，兼顾高精度与大批量生产；整套喷砂循环系统降低耗材波动，工艺可数字化管控，满足半导体行业严苛洁净与精密加工标准。
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