日本 Anelva 宽量程B‑A 真空计测定球

日本 Anelva 宽量程B‑A 真空计测定球 日本 Anelva 宽量程B‑A 真空计测定球

4.1 产品性能

MG‑2 系列为金属制小型 B‑A 真空计测定球，体积仅为传统产品约 1/20，解决传统玻璃制规球易碎、体积大的痛点。灵敏度 0.045Pa⁻¹，单支探头可实现从超高真空到达压力直至 1Pa 量级工艺压力的连续测量。内置 2 根灯丝，分铱钇涂层灯丝与钨丝两种材质；灯丝功耗 2.3‑2.5W，栅极除气功耗 1.0W，采用栅极通电除气方式；测定球容积约 12cc，整机 SUS304 不锈钢本体，真空适配性优异，安装位置选择灵活。

4.2 型号区分

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型号部件编号安装形式压力量程灯丝材质

MG‑28B1‑0010‑405φ15 O 型圈适配器13Pa ~10⁻⁶Pa钇涂层铱丝

MG‑2M8B1‑0010‑410φ18 O 型圈适配器13Pa ~10⁻⁶Pa钇涂层铱丝

MG‑2I/NW168G1‑0505‑480NW16 法兰13Pa ~10⁻⁷Pa钇涂层铱丝

MG‑2I/NW258B1‑0018‑082NW25 法兰13Pa ~10⁻⁷Pa钇涂层铱丝

MG‑2I/ICF348G1‑0505‑482φ34ICF 法兰13Pa ~10⁻⁷Pa钇涂层铱丝

MG‑2I/ICF708B1‑0018‑045φ70ICF 法兰13Pa ~10⁻⁷Pa钇涂层铱丝

MG‑2F8B1‑0010‑408φ70ICF 直连法兰13Pa ~10⁻⁶Pa钇涂层铱丝

MG‑2WF8G1‑0501‑693φ15 适配器可焊接0.13Pa~10⁻⁵Pa钨丝

4.3 主要参数表

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项目规格

本体材质SUS304 不锈钢

灵敏度0.045 Pa⁻¹

测定球容积约 12cc

灯丝功耗2.3W(MG‑2/2M/2I/2F)；2.5W(MG‑2WF)

栅极除气功耗1.0W

除气方式栅极通电除气

安装接口φ15、φ18 适配器；NW16/NW25；φ34ICF、φ70ICF

4.4 用途

主要应用半导体设备、溅射镀膜设备、真空热处理、科研实验腔体、各类高真空工艺设备；用于监测腔体到达真空、工艺工作压力，实现 1Pa 量级工艺压力至超高真空区间压力检测。金属结构不易破碎，适配设备内部狭小安装空间。

4.5 使用说明

根据设备真空法兰接口匹配对应型号：O 型圈适配器选 MG‑2/MG‑2M；KF/NW 接口选 MG‑2I/NW 系列；ICF 高真空法兰选用 MG‑2I/ICF、MG‑2F；焊接需求选用 MG‑2WF。

安装：法兰紧固到位，保证真空密封；O 型圈型号与适配器尺寸匹配，焊接款完成焊接后做检漏。

通电使用：连接对应真空计控制器，确认灯丝供电参数；污染后使用栅极通电模式执行除气操作。

选型提示：MG‑2WF 为钨灯丝型号，量程上限 0.13Pa，需要注意与其他铱丝型号区分。

禁止磕碰本体，金属测定球虽无玻璃破碎风险，但内部灯丝结构精密，冲击会造成灯丝损坏。

4.6 使用行业

半导体制造、真空镀膜、材料科研实验室、光学设备、真空热处理、工业真空工艺设备。