日本 ANELVA 宽量程多通道电离真空计

日本 ANELVA 宽量程多通道电离真空计 日本 ANELVA 宽量程多通道电离真空计

产品性能

M‑431HG 是微型真空规专用的电离真空计控制电源，数字显示，测量量程自动切换。标配 RS‑232C 通讯接口与外部 I/O 输入输出，支持远程完成灯丝启停、脱气、量程锁定等操作；采用宽电压电源适配，设备自带 2 点带滞回设定输出，D/A 模拟输出 0‑10V，支持 Log / 复合输出切换。具备灯丝耗材保护机制，高压力工况自动关闭灯丝，栅极通电加热脱气，脱气定时 3 分钟，整机满足 CE、RoHS 合规要求，机架式结构便于机柜集成。

型号

型号：M‑431HG

品牌：Canon‑ANELVA 佳能安内尔巴

备注：标准配置不含真空测量规球以及连接电缆，需另行选配。

参数表

表格

项目参数

压力显示范围0.01×10⁻⁷～13.2×10⁰Pa

压力表示数字，测量范围自动切换

设定值2 点标准配置（带滞后）

D/A 输出Log 或复合输出切换（0～10V）

模拟输出0～10 V（APC 对应出力）

外部控制输入灯丝 ON/OFF、参数锁定，灯丝切换、脱气 ON/OFF、范围保持

外部控制输出设定点 1、2，灯丝 ON/OFF 状态，脱气状态，丝材 1/2 状态

通信功能RS232C 标准 (9600、4800、2400、1200bps)

外形尺寸104W×99H×296D mm，重量 1.2Kg

功耗50 VA AC90‑240V 50/60Hz

发射电流10μA、100μA、1mA（自动切换 / 固定）

脱气方式栅极通电加热，通电定时 3 分钟

灯丝切换面板按键、远程 I/O 两种操作方式

耗材保护13.3×10⁰Pa 模式下灯丝自动关闭

合规CE 认证、RoHS

用途

自动化真空装置的压力测定

溅射等工艺过程压力测量与控制

多腔体真空系统压力监测

各类通用工业真空设备真空度检测

适用行业：半导体、镀膜、材料研发、实验室真空设备、工艺设备集成。

使用说明

安装：设备为机架式模块，安装于标准机柜，确认通风散热空间，接入 AC90‑240V 宽电压电源。

接线：连接配套真空规管以及通讯线缆，RS232 接口对接上位机，外部 I/O 接线完成远程信号对接。

开机：接通电源，设备初始化，确认灯丝状态；可本地按键操作，也可通过上位机通讯、外部 I/O 远程控制。

测量：设备自动切换测量量程，实时显示真空压力；设置 SP1、SP2 两组阈值，输出开关信号联动外部设备。

脱气操作：可本地或远程启动栅极脱气，脱气自动计时 3 分钟结束；高压力条件设备会自动关闭灯丝，保护耗材。

维护：规球属于消耗件，定期检查更换；设备本体避免粉尘、腐蚀性气体侵入。