日本 SANYU 电子显微镜样品制备装置

日本 SANYU 电子显微镜样品制备装置 日本 SANYU 电子显微镜样品制备装置

4.1 产品性能

SC‑701CT 快速碳蒸镀仪专为碳蒸镀工艺开发，采用闪蒸式蒸镀法，实现无个体差异的均匀碳蒸镀效果。省去每次作业切削碳棒的操作；设备搭载直连旋片式真空泵，可有效避免碳颗粒回流污染样品表面；涂层次数可自由设定，单次涂层仅 0.3 秒，制样流程简化，降低 SEM、EPMA 样品前处理操作门槛，整机台式轻量化，便于实验室安放。

4.2 参数表

表格

项目规格

碳膜载台卡匣式

电极1 组

涂层次数1 次～19 次（任意设置）

涂层时间0.3 秒 / 1 次

碳棒φ5mm SC‑701CT 专用

腔体尺寸内径 φ160mm × D160mm

蒸着电源12V / Max.70A

样品交换方法前门开闭式

排气装置直连式旋片泵：100l/min（带自动泄露）

设置电源AC100V 50/60Hz 15A

本体尺寸 (W/D/H)360/400/265mm

本体重量26kg

4.3 型号

产品完整型号：SC‑701CT（QUICK CARBON COATER），日本 SANYU ELECTRON（三优电子株式会社）旗下电子显微镜样品制备装置，专用 φ5mm 碳棒耗材。

4.4 用途

主要用于 SEM 扫描电镜、EPMA 电子探针分析的样品制备，完成样品表面碳膜形成；面向材料实验室、高校科研院所、半导体、新材料检测实验室，对不导电样品蒸镀导电碳膜，满足电镜观察与元素分析制样需求。

4.5 使用说明

确认设备接入 AC100V 电源，检查旋片泵状态，确认 SC‑701CT 专用 φ5mm 碳棒安装到位；

打开前门，卡匣式载台放置待处理样品，关闭舱门；

设置涂层次数（1‑19 次按需设定），单次涂层时间固定 0.3 秒；

启动设备，真空泵抽真空，完成闪蒸式碳蒸镀作业；

作业结束设备自动泄压，开启前门取出制备完成样品；

定期检查碳棒损耗，按需更换专用耗材碳棒，做好真空泵维护。

4.6 适用行业

高校科研实验室、材料检测机构、半导体行业、新材料研发、金属无机材料分析实验室。