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日本 TANAKA 半导体气体微压压力调整器日酸 TANAKA TORR‑L 系列为半导体专用气体压力调整器，可实现二次侧微压精准控制。整机在千级洁净室完成装配，全部经过氦检漏出厂检测，接气部采用 SUS316 不锈钢材质，支持电解研磨定制。适配氮气等多种工艺气体，满足半导体、实验室高纯供气稳压需求，接口规格可定制。
产品型号：TORR-LAR厂商性质：经销商更新时间：2026-09-09访 问 量：6
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日本 TANAKA 半导体气体微压压力调整器 日本 TANAKA 半导体气体微压压力调整器
TORR‑L 是半导体行业口碑成熟的微压压力调整器，全部在 0.3μm 千级洁净室内组装；每台执行氦泄露检测出厂检验，外部泄漏量≤1.3×10⁻⁸Pa・m³/sec。支持电解研磨定制，接气金属部件表面粗糙度 Ra0.25μm；主打二次侧微压稳定控制，在不同入口压力工况下，保障输出压力稳定，适配低压力大流量气体工况；本体材质 SUS316，耐腐蚀性强，适合高纯工艺气体。
流量特性：以氮气 N₂介质测试，不同入口压力 P1 条件下，输出压力 P2 随流量变化曲线平缓，标准流量 40L/min (nor)。
表格
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 接气部材质 | 本体 SUS316，隔膜 SUS316L，压力表 SUS316L |
| 入口压力 | 1.5MPa |
| 出口使用压力 | 0.06MPa |
| 流量 | 40L/min(nor)（N₂，P1=0.1MPa，P2=0.06MPa） |
| 使用温度 | -5~40℃ |
| 整机重量 | 5.2kg |
| 出入口口径 | 3/8" |
| 外部泄漏量 | 1.3×10⁻⁸Pa・m³/sec 以下 |
| 过滤器 | 本机无内置过滤器，需外部增设 |
表格
| 品名 | 一次侧压力表 | 二次侧压力表 | 入口接头 | 出口接头 |
|---|---|---|---|---|
| TORR‑LA | 无 | 0.1MPa 连成计 | NPT3/8 内螺纹 | NPT3/8 内螺纹 |
| TORR‑LB | 无 | 0.1MPa 连成计 | 1/2"Swagelok 卡套接头 | 1/2"Swagelok 卡套接头 |
| TORR‑LWV | 无 | 0.1MPa 连成计 | 1/2"VCR 内螺纹 | 1/2"VCR 内螺纹 |
该系列支持非标定制，定制需提供：使用气体、用途、入口 / 出口压力、流量、接头规格、其他特殊要求。
半导体制造工艺管路高纯气体微压稳压调节；
科研实验室高纯氮气、惰性气体供气系统；
精密分析仪器供气回路，需要稳定微压输出的工况；
各类特种工艺气体减压稳压场景。
安装：匹配对应型号接头，管路做好前期吹扫，前端管路配置过滤器（本机无内置滤芯）；
调压：旋转 TORR 手轮，H 代表升压，L 代表降压，观察二次侧压力表确认输出压力；
介质：适配氮气、各类惰性工艺气体，确认介质与 SUS316 材质兼容性；
工况：使用温度控制‑5~40℃，严禁超过入口 1.5MPa 耐压；
维护：禁止拆解阀体内部；设备出厂完成氦检漏，拆开后密封性能会失效；
选型定制：非标工况，请提交气体种类、进出口压力、流量、接头规格进行方案评估。
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