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日本 TechnoMew 非接触平面度测定装置日本 TechnoMew TFL2100 非接触平面度测定装置，采用激光位移传感器旋转扫描测量，气动主轴保障超高面跳动精度。非接触检测不会划伤工件，支持最大 200kg 重物测量，数据采集速度快。适配树脂板、玻璃基板、各类金属板材与模具平面检测，可依据工件形态定制测量系统。
产品型号：TFL2100厂商性质：经销商更新时间：2026-10-09访 问 量：7
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日本 TechnoMew 非接触平面度测定装置 日本 TechnoMew 非接触平面度测定装置
TFL2100（图片展示为特注定制机型，可按需定制改造），品牌：株式会社 TechnoMew（日本）
本设备采用激光位移传感器，旋转扫描方式进行测量，旋转轴搭载气动主轴，实现高精度面跳动。非接触式测量，不会损伤被测工件；受被测材质影响极小，支持重型工件检测。高速采集测量数据，最高分辨率可达 0.001μm；可搭配三角测距、共焦、分光干涉等多种激光位移计，可根据客户工件外形定制整套测量系统。可承载直径 Φ800mm、重量 200kg 以内工件。
表格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 基准距离 | 10mm |
| Z 轴方向测定范围 | ±1mm |
| 测定方式 | 三角测距式激光测量 |
| 光源 | 半导体激光，波长 650nm，可见光 CLAS1，出力 0.3mW |
| 重复测定精度 | 0.01μm（传感器单体精度） |
| Z 轴移动量 | ±45mm（手动 / 固定式） |
| XY 轴移动量 | X 最大 380mm，Y 最大 400mm |
| XY 最小送量 | 2μm/STEP |
| XY 最高移动速度 | 100mm/SEC |
| θ 轴回转量 | 360°，最小送量 0.0036°/STEP，最高回转速度 10rpm |
| 工作台耐荷重 | 200Kg，可搭载 Φ600 工件（最大 Φ800） |
| 控制单元 | PC/AT 兼容计算机，USB1.1/2.0 接口 |
| 外形重量 | 约 W430×H140×D255，7kg 以下 |
| 配套软件 | 平面度测定专用程序，支持 Windows2000/XP/7 系统 |
| 单次测量数据量 | 5000 数据 / 回，最多 20 回 |
树脂加工板、玻璃基板的平面度检测；
不锈钢、钛、铝、铁板等各类金属板材平面度测定；
模具等重型工件的平面度测量；
半导体、精密加工行业板材、大尺寸工件平面形变检测。
将待测工件平稳放置于设备旋转工作台，固定工件；
在 PC 端打开配套平面度专用测量软件，设置测量路径、扫描参数；
启动设备，工作台带动工件旋转，激光传感器扫描采集工件表面高度位移数据；
软件自动运算，生成 2D、3D 平面形貌图像，输出平面度测量结果；
测量完成后保存报告，取下工件；定期清洁激光探头与工作台，传感器可按需更换。
精密机械加工、半导体、玻璃基板制造、新材料、模具制造、有色金属板材加工、科研实验室。
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