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日本 NCC 晶圆附着粉尘沉降颗粒检测仪本款 NCC 落尘计数器用于无尘环境附着粉尘检测，可对 10‑100μm 粗大颗粒分级计量，采用硅晶片采集落尘，检测数据电脑端保存显示。支持 4 英寸 / 2 英寸晶片，适配狭小空间检测，替代传统胶带采样，提升检测效率，广泛用于半导体无尘车间环境管控。
产品型号：DTSP10‑02厂商性质：经销商更新时间：2026-10-16访 问 量：3
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日本 NCC 晶圆附着粉尘沉降颗粒检测仪 日本 NCC 晶圆附着粉尘沉降颗粒检测仪
本设备为检测附着沉降粉尘的专用仪器，区别于普通悬浮粒子计数器，针对 10μm 以上粗大落尘颗粒做分级计数；搭载 Trimming 处理功能，DTSP10‑03 支持自定义粒径设定与切换显示，检测结果电脑软件可视化存储。晶片可清洁后重复使用，可完成普通胶带采样难以实现的狭小空间、炉内、传送带表面落尘检测，规避传统人工显微镜计数效率低下的痛点。大于 100μm 颗粒不适用本设备晶片采样。
DTSP10‑02
DTSP10‑03
表格
| 项目 | DTSP10‑02 | DTSP10‑03 |
|---|---|---|
| 最小可测粒径 | 10μm | 10μm |
| 粒径区分 | 10μm、30μm、50μm、100μm | 10μm、30μm、50μm、100μm，11‑99μm 可自定义设定 |
| 晶片尺寸 | 4 英寸 | 4 英寸 / 2 英寸 |
| 最大测试范围 | Φ80mm | Φ80mm (4 英寸)/Φ30mm (2 英寸) |
| Trimming 功能 | 有 | 有 |
| 切换显示 | 无 | 有（区分表示） |
半导体无尘车间落尘、附着异物检测，查找产品不良与落尘之间关联；
无尘室、洁净产线环境管理评估；
设备炉腔、运行传送带、狭小腔体内部沉降粉尘采样检测；
无尘服、工装带来的异物污染风险验证；
洁净工艺环境的粗大颗粒污染源排查。
设备必须放置在 100 级无尘环境内开展测试，避免外界灰尘干扰检测结果；
将晶片放置于待测点位进行落尘收集；可选用 4 英寸晶片，狭小空间选配 2 英寸晶片与专用支架；
采集完成后将晶片放置设备内部，连接电脑运行配套软件完成颗粒计数、粒径分级、数据存储；
使用晶片专用清洁工具对晶片处理，清洁完成晶片可循环复用；
注意：＞100μm 颗粒不适用本套晶片采样方案，该类颗粒选用其他检测设备。
半导体、光电、精密电子、无尘车间、材料加工等洁净生产领域。
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