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日本P.R.A.半导体静电卡盘用高压ESC电源 电极附近出现反极性电荷，陶瓷表面则感应出同极性电荷。当硅片靠近时，片内诱导电荷与表面电荷相互吸引，产生吸附力。吸力大小与表面电荷量成正比，而电荷量由高压电源精确控制。

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