日本AD-TEC 2450MHz 微波电源设备日本 AD-TEC 2450MHz 微波电源，额定功率 3kW，专为等离子体处理系统设计，采用低漂移磁控管，支持 RS485 通信，匹配精度≤1%、速度≤3 秒，内置隔离器，水冷设计适配复杂工业环境。

日本AD-TEC 双极直流电源设备日本 AD-TEC 静电卡盘电源，输出 ±10kV 高电压，具备极性反转与强制接地功能，数字控制支持 RS-232C 通信与模拟输出，内置放电、短路、过载保护，可选配 RF 滤波器，适配半导体静电卡盘应用。

日本AD-TEC TX系列 高周波射频电源设备日本 AD-TEC TX 系列高周波射频电源，搭载耐反射 AB 级线性增幅器，支持 12.5MHz/13.56MHz/27.12MHz 频率，功率覆盖 300W-5000W，采用小型半机柜设计，可选脉冲、可变频率、电弧抑制功能，适配多种等离子体工艺场景。

日本春日电机 KASUGA 静电电位监视设备日本春日电机 KSM-1601 是多通道静电电位监视装置，支持最多 16 通道实时测量，配备全彩触摸屏，可设置两级报警并输出信号，搭配专用传感器可在防爆区域使用，适用于薄膜输送、宽幅对象带电分布评估等场景。

春日电机 等离子体发生用脉冲高压电源设备日本春日电机 PHF-2K-P 是等离子体发生用脉冲型高频高压电源，输出电压范围 0~±15kV，支持连续与间歇调制模式，振荡频率 1kHz~30kHz 可调，无需匹配盒即可驱动多种负载，适用于大气压及真空等离子体发生场景。

日本春日电机 KASUGA 喷嘴型离子发生仪器日本春日电机 ND-503T 是喷嘴型离子发生器，采用 DC 电晕放电方式，搭载 D.I.C.Ⅱ 电路控制，可实现稳定离子平衡与高速除电，维护频率低，适用于洁净环境、高速输送部件及光学部件等场景的静电消除与防尘。

日本ARIOS 小型微波激发离子源设备日本 ARIOS EMIS-111Q 是石英放电管型小型微波激发离子源，采用紧凑型设计，可产生大电流离子束，支持全空冷运行，可搭配 2kV 离子加速电源，适用于离子束处理、薄膜制备等实验室工艺场景。

日本ARIOS 2英寸实验室小型磁控溅射设备日本 ARIOS 2 英寸小型磁控溅射装置，集成磁控管阴极与基板加热机构，采用 JIS 机架紧凑型设计，适配 DC/RF 电源，支持基板加热与升降调节，可用于实验室薄膜沉积工艺，节省空间且易于操作。