日本 INTECS 晶圆断面测量装置系统本服务针对 INTECS VSSW 摄像管式晶圆断面测量装置开展升级改造，可复用原有外观钣金结构，仅更换老化内部电气元件，让老旧设备实现与品牌最新系统同等的测量性能与功能，节省设备全款换新成本，适配半导体晶圆断面形状长期精密量测需求。

日本 Ams 单点式卤素冷媒气体泄漏监测仪Ams HGM-SZ 单点式冷媒泄漏监测仪采用稳定红外传感器，最高检出灵敏度 1ppm，外接采样软管即可定点实时监测气体浓度；抽气量大幅降低漏检风险，安装便捷易加装在空调、制冷机组机房；兼容 HFO、HFC、SF6、NOVEC 等多类介质，运行成本低，适用于制冷设备维保、冷媒回收、车间机房 24 小时泄漏在线预警。

日本 BACHARACH 通道多点冷媒泄漏监测仪HGM-MZ 为 16 路多点在线冷媒气体监测主机，搭载高精度红外传感器，单台最多监控 16 处泄漏点位，最远采样距离 360 米；抽吸式大抽气量大幅降低漏检风险，支持 HFO/HFC/HCFC 等全系列冷媒，分区独立设置检测工质，自带设备自诊断，24 小时实时浓度监控，广泛用于制冷厂房、数据中心、洁净车间安全监测。

日本 HORIBA 半导体腔室清洗红外气体监测仪HORIBA IR-400 系列采用非分散红外 NDIR 检测原理，面向半导体薄膜沉积腔室清洗工艺；IR-422 支持 SiF₄、CF₄双组分监测，气室最高 180℃伴热，高灵敏度实时捕捉尾气组分变化，精准判定清洗终点，缩短清洗时长、降低蚀刻气体消耗，具备模拟 + RS485 数字通讯，易于集成刻蚀、CVD 设备排气管路。

日本 HORIBA 半导体前驱体蒸汽浓度监测仪HORIBA IR-300 采用非分散红外（NDIR）双光束检测原理，专为 MOCVD 工艺前驱体蒸汽浓度实时监测开发。可在线监控 TEGa 等金属有机源蒸汽浓度，支持多重校准曲线，搭载 DeviceNet/RS485 / 模拟量通讯；结构紧凑、安装方向无限制，助力半导体外延工艺稳定、提升良率。

日本 SEM 坂本 工业在线倾斜监测系统日本 SEM 坂本 SEC-021FivⅡ-H 工业在线倾斜监测系统，DC12V 工业供电，分体两轴 MEMS 倾角传感；带滤波抗振，支持 RS232 数字 + 0-10V 模拟双输出，可接入 PLC 工控系统，分体探头适配隐蔽点位长期监测，广泛用于土木基建、工程机械、自动化设备姿态监控。

otari工业清洁度监测 双通道超声波音压计 自动量程（Auto Range）功能 可测量水、炭化水素、IPA等所有不腐蚀SUS304的液体 覆盖0～100℃液温范围

日本otari超声波清洗槽监测仪手持式音压计 用于超音波洗浄機的日常品質管理 振子劣化诊断与更换时机判断 洗浄工艺参数优化 洗浄不良原因分析 多槽洗浄設備的集中监控