日本日酸TANAKA半导体设备压力调节器低压阀

日本日酸TANAKA半导体设备压力调节器低压阀  TANAKA日酸 S-TORRⅤ02 特点介绍

S-TORR调整器在半导体工艺气体管线中获得极大信赖的TORR调整器

是贝一斯开发的超高纯度气体用压力调节器。

由于排除了接触气体部螺纹结构，并按照标准实施电解研磨，所以可以获得非常高的水分

可实现置换特性、降低电池。

主体与钢筋的连接采用焊接，模具和法兰部的外部密封件采用金属密封件结构。

由于具有较高的外部密封性，即使是高纯度的气体，也可以放心使用。

包括直线测试在内的全部出货检验。

STV02硅片是本体直径035、标准面间70.5mm非常小型的压力调整器

可设计小型出口管线。也适合安装人员。

作为腐蚀性气体用，在接触气体主要金属部使用高耐腐蚀性Ni-Cr-Mo合金.

我们准备了SH系列。

日本日酸TANAKA半导体设备压力调节器低压阀  TANAKA日酸 S-TORRⅤ02 规格参数

使用材質

接力部

本体:SUS316L

膜片:Ni-Cr-Mo合金

继手:SUS316L

其它接触气体部:SUS316L、SUS316、氟树脂/

Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、氟树脂（STV02SH）

非接触气体部

盖:C3604

调压手柄:ABS树脂、C3604