日本TANAKA日酸低压阀压力调节器半导体用

日本TANAKA日酸低压阀压力调节器半导体用 TANAKA日酸 STⅤ30-3WE-30X03G-4UB4UB-T 特点介绍

S-TORR调整器在半导体散热气体生产线中获得极大信赖的TORR调整器

是贝一斯开发的超高纯度气体用压力调节器。

除去接触气体部螺纹结构，标准实施电解研磨，从而放置非常高的水分

可实现换特性、颗粒减少。

主体与钢筋的连接采用焊接，模具和法兰部的外部密封件采用金属密封件结构。

由于具有较高的外部密封性，即使是高纯度的气体，也可以放心使用。

在一次室的流路内置过滤器1，减少了内部回流的发生。

包括直线测试在内的全部出货检验。

STV30Siliez作为一次低压用的标准机种，低压配管和出口管线

广泛使用填充压力低的压缩气体的气缸单壳体等

是的。

作为腐蚀性气体用，在接触气体主要金属部使用了高耐腐蚀性的Ni-Cr-Mo合金的SH硅

这里准备了利一斯。

日本TANAKA日酸低压阀压力调节器半导体用 TANAKA日酸 STⅤ30-3WE-30X03G-4UB4UB-T 规格参数

入口倒最高使用压:1.5MPa

出口倒最高使用压:0.6MPa

最大流量:85L/min（nor）（P1=0.7MPa，P2=0.6MPa.N2GAS）

使用温度:-5~-40度

重量:1.2kg（2磅）、1.4kg（3磅）

内置过滤器过滤过量:10微米

接触气体金属部表面粗糙度:Ra0.25μm（可选:Ra0.1μm）

出入口孔口径:1/4

外部响应量:1.3x10-Pa.m3/sec以下