日本日酸TANAKA负压用压力调节器减压阀

日本日酸TANAKA负压用压力调节器减压阀 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 特点介绍

●S-TORR调节器是在半导体工艺气体生产线中备受信赖的TORR调节器基础上开发的超高纯度气体用压力调节器。

●通过排除气体接触部的螺纹结构，标准实施电解研磨，实现了水分置换特性、颗粒减少。

●主体与接头的连接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金属密封结构。由于具有较高的外部密封性，即使在纯度较高的气体上也能放心使用。

●在一次室的流路内置过滤器，减少了内部泄漏的发生。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●STVA10系列支持负压控制，可用于负压供给低蒸汽压的液化气体的气缸箱。

●从接触气体部排除弹簧，降低了颗粒发生风险。

●采用串联隔膜式。

●作为腐蚀性气体用，准备了在接触气体的主要金属部分使用高耐腐蚀性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。

日本日酸TANAKA负压用压力调节器减压阀 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 规格参数

●使用材质接触气体部主体:隔膜:过滤器:压力计:接头:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄:SUS316LSUS31 6L/镍铬钼合金（STVA10SH）SUS316L SUS316L、SUS316、氟树脂/Ni-Cr-Mo合金、SUS316L氟树脂（STVA10SH）C3604ABS树脂、C36 04