日本日酸TANAKA液化气体用压力调节器调节阀

日本日酸TANAKA液化气体用压力调节器调节阀 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 特点介绍

●S-TORR调节器是在半导体工艺气体生产线中备受信赖的TORR调节器基础上开发的超高纯度气体用压力调节器。

●通过排除气体接触部的螺纹结构，标准实施电解研磨，实现了水分置换特性、颗粒减少。

●主体与接头的连接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金属密封结构。由于具有较高的外部密封性，即使在纯度较高的气体上也能放心使用。

●在一次室的流路内置过滤器，减少了内部泄漏的发生。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●STVT50系列采用串联隔膜式，具有输送液化气体的坚固结构。

●从接触气体部排除弹簧，降低了颗粒发生风险。

●通过进行加温供给，也能够对应蒸汽压为1.0MPa以上的气体。最大使用压力2.5MPa。

●作为腐蚀性气体用，准备了在接触气体的主要金属部分使用高耐腐蚀性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。

日本日酸TANAKA液化气体用压力调节器调节阀 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 规格参数

入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:接触气体金属部表面粗糙度:出入口口径:外部泄漏量:2.5MPa0.6MPa220L/min（或）（P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2气体）-5～40°C1.8kg（2端口），2.0kg（3端口）20μm/10μm（STVT50SH）Ra0.25μm（可选:Ra0.1μm）1/4"1.3 10-11Pa m3/sec以下