日本okksg高压汞全自动UV照射机紫外线设备

日本okksg高压汞全自动UV照射机紫外线设备 FHUV-系列 特点介绍

高压汞/金卤灯全自动UV照射设备是一种使用具有强辐射能的灯管的紫外线固化设备。

装入工件后，按下启动按钮，机器将全自动将工件从料库中取出，并用紫外灯照射，并存储，直到料库中的工件全部完成。

根据目标工作，您可以选择高压汞灯和金属卤化物灯。

日本okksg高压汞全自动UV照射机紫外线设备 FHUV-系列 规格参数

紧凑的机身

可以进行 10 种配方设置（速度根据设置而变化）

可使用触摸面板以 4 种方式设置功率

显示累积照射量和紫外线照射强度（仅照射期间）

可根据照射对象选择高压汞灯/金属卤化物灯

配备自动设置变更功能，可自动切换至不同尺寸

不仅可以照射切割框，还可以照射握持环。

具备判断UV照射是否完成的功能。

可用于LSI晶圆、存储器晶圆、LED晶圆、激光晶圆、传感器晶圆、功率器件晶圆等各种工艺。

尺寸宽1300×深1400×高1350（毫米） 

重量约400公斤 

驾驶空气0.4Mpa以上 

紫外线照度200mW/cm²以上 

氮气0.2Mpa以上 100L/min以上 

电源交流三相200V 50/60Hz 100A 

高压汞/金卤灯全自动UV照射设备是一种使用具有强辐射能的灯管的紫外线固化设备。