日本anelva佳能离子泵/Noble泵控制装置真空

日本anelva佳能离子泵/Noble泵控制装置真空  P-500 特点介绍

是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作离子泵或惰性泵的控制装置。显示屏采用大型绿色 LED 来提高远距离可视性

在考虑与以前型号的兼容性的同时，我们实现了改进的功能以及 CE 和 RoHS 合规性。

除了丰富的I/O功能外，还可以通过添加选件板来支持RS232C通信，非常适合自动化设备和远程控制设备。

离子泵和惰性泵有两种类型：超高真空型和高输出型，可操作压力范围和启动压力根据所连接的泵而变化。

日本anelva佳能离子泵/Noble泵控制装置真空  P-500 特点介绍

实现了高压电源所需的高水平基本功能，例如提高了监控高性能电流和电压值时的最小可显示值、增加了压力显示以及各种保护功能兼容硬制程

兼容各种I/O标准设备的外部控制，包括两个标准设定点、

断电自动恢复（可选）

高兼容性

确保远程连接器、输入电缆和输出电缆与之前型号的兼容性

通讯兼容

RS232C（可选（工厂内置兼容））

符合标准

CE 标志，符合 RoHS 指令

电子显微镜、电子束光刻设备

离子束设备、掩模修复设备

存储环、光束线等加速器相关系统

MBE、表面分析设备等超高真空设备、各种分析设备等