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日本pekuris脉冲电源调制器溅射靶材加热用 特点介绍
・等离子CVD用脉冲电源
・溅射用脉冲电源
・靶材加热用电源
・各种脉冲偏压用电源
・各种评价试验用
・其他
兼容瞬时高能量的
高性能脉冲电源产品
日本pekuris脉冲电源调制器溅射靶材加热用 规格参数
受电电压单相AC100V 50/60Hz
输入电压0~1kV(最大)
输出电压0~1kV(最大)
输出电流0~50AP(最大)
输出能力600毫安直流
重复频率1Hz~5kHz
脉冲宽度1μS~200μS
冷却方式内置风扇强制风冷
保护功能过流保护电路、过温保护电路
界面从外部远程控制
尺寸(毫米)202(宽)x 140(高)x 280(深)(不包括突出部分)
大约重量6.5公斤
・等离子CVD用脉冲电源
・溅射用脉冲电源
・靶材加热用电源
・各种脉冲偏压用电源
・各种评价试验用
・其他
受电电压单相AC100V 50/60Hz
输入电压0~1kV(最大)
输出电压0~1kV(最大)
输出电流0~50AP(最大)
输出能力600毫安直流
重复频率1Hz~5kHz
脉冲宽度1μS~200μS
冷却方式内置风扇强制风冷
保护功能过流保护电路、过温保护电路
它具有特殊的通电机制,可实现〜500℃/min的高速升温,并具有高冷却能力和快速降温的特点。其处理时间是热压、HIP、常压烧结等传统方法的,可以快速制备样品,用于微观结构控制烧结和新材料研发。
先进新材料开发压倒性优势
难烧结材料和多元素材料的易烧结性