日本vaclab反向磁控管式NEG支撑泵真空计 IMP&G 机头:ICF070 1.与NEG泵组合使用逆磁控管型离子泵(单电池)2.用于排出残留的氮气和甲烷的泵3.10-10也可以用到Pa为止冷阴极真空计4.仅密封NEG即可达到的真空为10-8Pa,通过追加本机可达到10-10Pa台可到达5.即使在真空区域也能可靠地启动放电(带启动按钮)6.NEG泵激活时可动作7.SUS制、BeCu合金制
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日本vaclab反向磁控管式NEG支撑泵真空计 IMP&G 机头:ICF070 特点介绍
1.与NEG泵组合使用逆磁控管型离子泵(单电池)
2.用于排出残留的氮气和甲烷的泵
3.10-10也可以用到Pa为止冷阴极真空计
4.仅密封NEG即可达到的真空为10-8Pa,通过追加本机可达到10-10Pa台可到达
5.即使在真空区域也能可靠地启动放电(带启动按钮)
6.NEG泵激活时可动作
7.SUS制、BeCu合金制
日本vaclab反向磁控管式NEG支撑泵真空计 IMP&G 机头:ICF070 规格参数
形式:IM P&G电极:圆筒阴极(Ta),螺旋阳极(W)排气速度:1L/s(Ar),4L/s(CH4)适用NEG泵:50~2000L(H2)/s真空测量范围:10-10Pa~10-3Pa泵壳体:SUS316L或0.2%BeCu钕磁铁:4kG,烘烤温度(80°C)萨马科瓦磁铁:3.8kG,烘烤温度(280°C)电子冲击加热功率:1000V×100mA施加电压:5kV,100μA安装法兰:ICF070(Cu衬垫)头重量:2.8kg
■倒置磁控管型NEG辅助泵IMP&G是一种离子泵,当NEG泵抽真空至超高/超高真空时,可排出剩余的氩气和甲烷。也可用作高精度冷阴极型真空计,可测量高达 1×10 -10 Pa的压力。
■我们成功地为倒置磁控管型冷阴极真空计增加了排气功能。传统的倒磁控管型冷阴极真空计几乎没有抽真空作用,并且从未有过将倒磁控管型单元用作离子泵的泵单元的例子。之所以没有排气效应,是因为组成阴极的电极表面是氧化层。我们通过在真空中将阴极(Ta)加热到1000℃以上,成功地产生了排气效果。通过加热,电极表面的氧化物被去除,稀有气体离子通过捕获(捕获)被排出,这是在构成阴极的金属之间捕获离子的作用。