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日本UWAVE半导体晶圆周边曝光点状UV照射器

日本UWAVE半导体晶圆周边曝光点状UV照射器
USPOT是一款最高可达到6000mW/cm²的高输出UV点光源。根据应用需求,可以选择扩散光和平行光两种输出类型。它是高速生产线上UV固化和UV粘接的理想光源

  • 产品型号:USPOT
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-10-23
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详细介绍

日本UWAVE半导体晶圆周边曝光点状UV照射器
日本UWAVE半导体晶圆周边曝光点状UV照射器

USPOT是一款最高可达到6000mW/cm²的高输出UV点光源。根据应用需求,可以选择扩散光和平行光两种输出类型。它是高速生产线上UV固化和UV粘接的理想光源。此外,通过使用专用电源,还可以实现多台设备的同步照射。
它支持UVC,并且可以实现最大100mW/cm²的强度。


特徴(特点)
  • 实现最大6000mW/cm²的高输出。
  • 点状(Spot type)类型。
  • 不需要额外的冷却。
  • 可以搭载UVC、UVB、UVA。
  • 使用UVC实现100mW/cm²以上。
  • 可以选择扩散光、平行光(仅限UVA)。
アプリケーション(应用)
  • UV硬化
  • 半导体晶圆周边曝光
  • 可以搭载UVC、UVB、UVA
  • 提供多种波长选项,包括:
    • UVC:255nm、265nm、275nm
    • UVB:295nm、305nm、310nm、325nm
    • UVA:365nm、385nm、395nm、405nm
    • 蓝光(Blue):450nm、465nm
    • 绿光(Green):525nm
    • 红外线(Infrared):780nm、850nm、940nm


该UV照射器适用于需要高强度UV光的应用,如UV固化和半导体制造过程中的晶圆曝光

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