日本daico半导体制造湿法工艺用清洁加热器

日本daico半导体制造湿法工艺用清洁加热器
日本daico半导体制造湿法工艺用清洁加热器
**大興製作所的インラインヒーター (CLヒーター：化学线加热器)**是用于半导体制造湿法工艺中各种药液和纯水的高温加热设备。其接触液体的部分采用高纯度石英玻璃，利用卤素灯加热器发出的红外线光能，实现清洁加热。

产品特点

1. 高清洁性
• 接液部分采用高纯度石英玻璃，金属离子溶出极少，且具有优异的耐热性和耐药性。
• 采用光辐射加热方式，即使加热器损坏也不会导致金属污染。
2. 高效率热源
• 使用快速响应的卤素加热器，红外线转换率和投射率超过85%。
3. 安全性
• 配备过热传感器、过热检测传感器和漏液检测导线。
• 需要单独的检测器。
• 空烧检测传感器和过热检测传感器应分别使用。
4. 维护性
• 采用单端加热器，便于紧凑收纳和维护。

内部结构

• 加热方式：卤素灯加热器辐射加热
• 型号：
• CLH2603T-25P：6KW
• CLH3903T-25P：9KW
• CLH4123T-25P：12KW
• 最高使用温度：180℃
• 接液部分材质：高纯度石英玻璃
• 允许内压：0.4MPa
• 管道口径（石英）：25mm
• 适用管道（氟树脂）：φ25mm
• 安全机构：过热传感器、过热检测传感器、漏液检测导线
• 消耗功率：AC200V 6KVA、9KVA、12KVA
• 机箱材质：氟树脂（PTFE）
• 机箱尺寸（W×L×H）：230×432×242mm
• 重量：约14kg、15kg、16kg