日本daico药液纯水高温加热用内联CL加热器

日本daico药液纯水高温加热用内联CL加热器
日本daico药液纯水高温加热用内联CL加热器
大兴制作所的在线加热器（CL加热器：Chemical Line Heater）是为半导体制造湿法工艺中各种药液及纯水高温加热而设计的清洁加热单元，其接触液体部分采用高纯度石英玻璃，利用卤素灯加热器的红外光能量进行加热

产品特点

1. 高清洁性
• 接液部分采用高纯度石英玻璃，金属离子溶出极少，且具有优异的耐热性和耐药性。
• 采用光辐射加热方式，即使加热器损坏也不会导致金属污染。
2. 高效率热源
• 使用快速响应的卤素加热器，红外线转换率和投射率超过85%。
3. 安全性
• 配备过热传感器、过热检测传感器和漏液检测导线。
• 需要单独的检测器。
• 空烧检测传感器和过热检测传感器应分别使用。
4. 维护性
• 采用单端加热器，便于紧凑收纳和维护。

内部结构

• 加热方式：卤素灯加热器辐射加热
• 型号：
• CLH2603T-25P：6KW
• CLH3903T-25P：9KW
• CLH4123T-25P：12KW
• 最高使用温度：180℃
• 接液部分材质：高纯度石英玻璃
• 允许内压：0.4MPa
• 管道口径（石英）：25mm
• 适用管道（氟树脂）：φ25mm
• 安全机构：过热传感器、过热检测传感器、漏液检测导线
• 消耗功率：AC200V 6KVA、9KVA、12KVA
• 机箱材质：氟树脂（PTFE）
• 机箱尺寸（W×L×H）：230×432×242mm
• 重量：约14kg、15kg、16kg