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日本technomu小型旋转非接触式平面度测量机

日本technomu小型旋转非接触式平面度测量机
TFL3100 是一款小型旋转式非接触平面度测量机，专为圆形平板设计，支持高精度、高速测量，适用于金属、玻璃、晶圆等多种材料

  • 产品型号：TFL3100X
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-11-11
  • 访  问  量：38
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联系电话：13823182047

详细介绍

日本technomu小型旋转非接触式平面度测量机
日本technomu小型旋转非接触式平面度测量机

利用激光位移传感器，将工件固定在旋转平台上，通过非接触方式高精度测量工件表面高度方向的位移量，并通过专用软件计算平面度。
适用于圆形平板工件，如金属磨削加工品或透明玻璃等，支持自动判定 OK/NG 的检测功能。

主要特点

  • 低价实现高精度测量
  • 高速测量，适合量产全检
  • 非接触测量，不会划伤被测物
  • 受工件材质影响极小
  • 可测量从晶圆到金属磨削品、透明玻璃等多种材料
  • 预设判定阈值，自动判定 OK/NG
  • 可根据工件定制测量台（欢迎咨询）

规格要点

  • 测量范围：2 英寸 – 12 英寸以上
  • 测量方式：旋转扫描式
  • 可用激光类型：三角测距、共焦、光谱干涉、多激光同轴
  • 分辨率：最高 0.001 µm
  • 低价实现高精度（最高 0.001 µm 分辨率）
  • 高速旋转扫描，适合量产全检
  • 非接触，零划伤风险；透明/镜面/金属皆可测
  • 操作简单：“放入→启动→自动判定"
  • 机型小巧，可测 φ100 mm 左右工件（更大可特注）
  • 可按工件形状定制治具、转盘、行程

典型应用

  • 玻璃基板、树脂加工板、不锈钢/铜/铝等金属圆板
  • 手机摄像头保护玻璃、LED 基板、密封环、轴承垫片等薄形圆板平面度快速分拣


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