日本nittoseiko半导体硅晶圆测量电阻率计

日本nittoseiko半导体硅晶圆测量电阻率计
日本nittoseiko半导体硅晶圆测量电阻率计

1. 双模式一体
• 低阻区 10⁻⁴–10⁷ Ω：采用恒流四探针法（JIS K 7194），标配 ASR 探头，可测导电塑料、ITO 薄膜、导电油墨/浆料、金属镀层等 。
• 高阻区 10³–10¹⁴ Ω：切换恒压双环电极法（JIS K 6911），选配 URS/UR 系列探头，可测防静电薄膜、工程塑料、涂料、陶瓷等

  。→ 用户无需购买两台仪器即可实现“Ω 级到 TΩ 级"连续测试。
2. 超宽电压与扫描功能
• 1 V–1000 V 共 29 档施加电压，内置“自动电压扫描"模式，可一次性绘制电阻-电压曲线，便于研究材料的非线性或击穿特性

  。
3. 一键全自动测量
• 7.5 英寸彩色触控屏，按“START"后自动选择电流/电压、极性反转、稳定判定、保持数据并停止，支持 Timer/Auto-hold 两种定时模式

  。
4. 硅片专用模式
• 改变电流极性并计算平均值，可扣除热电势，对硅晶圆、锗等半导体晶片进行低接触误差测量

  。
5. 探头系列丰富
• 低阻侧：ASR、LSR、ESR、PSR、QR 等 9 种探针，针距 1.5–10 mm，适应薄膜、软材、小样品或曲面

  。
• 高阻侧：URS、UR-SS、UR-100、UA 及 J-Box X 型双环电极，保证 10¹⁴ Ω 量级稳定测量

  。
6. 数据管理与追溯
• 机内 2 000 组数据可屏幕统计（最大/最小/平均/σ）；
• USB 存储器直接导出 CSV，也可配数据记录器软件实时上传 PC，便于 SPC 或报告生成

  。
7. 内置开关盒（Switching Box）
• 测体积电阻率时无需外购切换盒，主机已集成继电器切换，配 UR 探头即可一键完成“表面-体积"切换

  。
8. 精度与分辨率
• 低阻段：±(0.5 % + 3 dgt) @ 10⁻²–10⁵ Ω；
• 高阻段：±2 % @ 10⁹–10¹³ Ω（23 ℃±5 ℃，45–65 %RH）

  。
9. 电源与连续运行
• AC 85–264 V 全球电压；
• 可选 Ni-MH 电池包，现场无电源亦可半日以上连续运行

  。
10. 典型应用
• 导电/防静电薄膜、包装材、EMI 屏蔽材；
• 锂离子电池隔膜、导电胶、碳纸；
• 硅片、化合物半导体、ITO/金属网格玻璃；
• 汽车/电子部件的静电管理与失效分析