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导电薄膜膜厚分布评估低电阻率自动测定仪

导电薄膜膜厚分布评估低电阻率自动测定仪
对导电薄膜、金属膜、ITO 玻璃等样品进行“表面电阻率 Ω/□"与“体积电阻率 Ω·cm"二维 mapping，快速可视化膜厚/组分均匀性。

  • 产品型号：MCP-S330型
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-11-21
  • 访  问  量：13
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详细介绍

导电薄膜膜厚分布评估低电阻率自动测定仪

导电薄膜膜厚分布评估低电阻率自动测定仪
MCP-S330 型 低电阻率自动测定系统（小型 Mapping 系统）

用途：对导电薄膜、金属膜、ITO 玻璃等样品进行“表面电阻率 Ω/□"与“体积电阻率 Ω·cm"二维 mapping，快速可视化膜厚/组分均匀性。
二、核心
  1. 全自动 Mapping
    • 最大 300 mm × 300 mm 样品，可任意设定测量点数与间距（最小 1 mm）。
    • 支持多片连续自动测定，无需人工移动样品。
  2. 与桌面主机“Loresta-GX II MCP-T710"联动
    • 覆盖 10⁻⁴ – 10⁷ Ω 低阻量程，四探针/环形电极一键切换。
    • 数据实时回传，自动完成 ρs、ρv 计算。
  3. 一键生成 3D 分布图
    • 软件内置 3D 色阶图、等高线、 histogram 统计，膜厚不均、掺杂不均“一目了然"。
  4. 不受样品形状影响
    • 四探针单元带弹簧缓冲与微调平台，曲面、翘曲片亦可贴合测量。
  5. 高速定位
    • 步进电机 + 线性导轨，单点移动 ≤ 0.7 s；整片 10×10 点＜ 3 min 完成。
  6. 数据追溯
    • 每点保存坐标、电阻值、探针系数、温湿度，可输出 CSV 报告，对接 SPC 系统。
三、典型应用
  • 液晶/有机 EL 用 ITO 玻璃、金属网格（AgNW、Cu mesh）电极均匀性评价
  • 柔性薄膜太阳能电池、5G 透明天线膜、EMI 屏蔽膜工艺优化
  • 晶圆级金属薄膜（Al、Cu、TiN）电镀或溅射后均匀性确认
  • 触控面板、电子纸、加热膜等导电薄膜来料检验与失效分析


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