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日本RION理音SOG液体颗粒计数器

日本RION理音SOG液体颗粒计数器
0.15 µm 起,适用于光刻胶(Photoresist)、SOG(Spin On Glass)等高纯液体
粒径通道:0.15 – 0.5 µm 范围内 10 档;出厂默认 4 档(0.15 / 0.2 / 0.3 / ≥0.5 µm)

  • 产品型号:KS-41A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-11-25
  • 访  问  量:22
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详细介绍

日本RION理音SOG液体颗粒计数器
日本RION理音SOG液体颗粒计数器

KS-41A 光阻液 / SOG 液体颗粒计数器
(侧向散射激光式)

1. 核心能力

  • 检测粒径:0.15 µm 起,适用于光刻胶(Photoresist)、SOG(Spin On Glass)等高纯液体
  • 粒径通道:0.15 – 0.5 µm 范围内 10 档;出厂默认 4 档(0.15 / 0.2 / 0.3 / ≥0.5 µm)
  • 浓度上限:1,200 颗/mL(计数损失 ≤5%)
  • 采样流量:10 mL/min

2. 系统特点

  • 光学原理:侧向散射 + 830 nm 半导体激光(200 mW)
  • 接液材质:合成石英 + PFA,耐腐蚀、低析出
  • 多种模式:Batch 采样 / 在线(In-line) / 多点监控(Multi-point)
  • 法规符合:CE 标志,可直接连接多点监控系统

3. 硬件规格

项目参数
供电DC 12 V(由主机 KE-40B1 提供)
尺寸160 H × 300 W × 251 D mm(不含突起)
重量约 7.5 kg

4. 应用场景

  • 晶圆厂光刻胶循环管路粒子监测
  • SOG 涂布前颗粒管控
  • 化学品供应商批次检验
  • 多点并行监控(最多 8 通道)


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