技术参数
| 参数类别 | 参数详情 |
|---|
| 最小可测量粒径 | 10μm |
| 粒度分级 | 10μm、30μm、50μm、100μm，可在11～99μm范围内任意设定值 |
| 兼容晶圆尺寸 | 4英寸 |
| 最大测量面积 | φ80mm |
| 修剪功能 | 有 |
| 显示切换 | 有（可单独显示） |
功能特点
粗颗粒测量
DTSP10-03 是一种特殊的测量装置，可以测量落尘而不是浮尘，对10μm以上的粗颗粒进行分类和计数。这与传统的颗粒计数器不同，后者主要用于测量空气中漂浮的微小颗粒，而无法有效测量导致附着异物的较大粗颗粒。
高效采样与分析
该设备利用样品收集板（4英寸硅片），利用粗颗粒的沉降特性，对下落的10μm以上的粗颗粒进行分级计数。这种测量方式可以在任何可以放置硅晶圆的地方进行评估，提高了测量的灵活性和适用性。
数据管理
测量结果可以在PC上显示和保存，便于进一步分析和记录。这使得用户能够更好地管理和分析落尘数据，从而采取有效的对策减少产品上附着的异物量。
应用场景
无尘室管理
即使在无尘室中工作，异物的量也可能不会减少。DTSP10-03 可以帮助识别和管理这些异物，确保无尘室的清洁度。通过测量落尘而不是漂浮的灰尘，可以更有效地管理附着的异物。
产品质量控制
在电子、半导体等对清洁度有要求的行业中，DTSP10-03 可用于检测产品表面或生产环境中的落尘，从而提高产品质量和可靠性。
环境监测
该设备还可以用于监测高温炉内、运行中的传送带等难以接近的区域的灰尘附着情况。这有助于及时发现和解决潜在的污染问题，保护设备和人员的安全。
日本 NCC 落尘计数器 DTSP10-03 凭借其对10μm以上粗颗粒的精准测量能力、高效的采样与分析功能以及广泛的应用场景，在无尘室管理、产品质量控制和环境监测等领域表现出色，是现代工业和科研中的测量工具。
更新时间：2025-10-27 
浏览次数：33
您的位置：
