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日本Mitaka非接触式晶圆翘曲形状测定仪

日本Mitaka非接触式晶圆翘曲形状测定仪
搭载比“索引测量"快 50 倍的 Scan-AF 功能与高精度自动 XY 平台，可在亚微米精度下高速测量数十毫米级大范围。
适用于：
断面曲线无法检出的精密加工件翘曲
注塑件形状不良
摩擦学中的磨损量及划痕定量评价

  • 产品型号：PF-60
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2025-11-29
  • 访  问  量：10
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联系电话：13823182047

详细介绍

日本Mitaka非接触式晶圆翘曲形状测定仪
日本Mitaka非接触式晶圆翘曲形状测定仪

PF-60 “非接触表面性状测量仪"
Scan-AF 功能实现大范围・高速测量！
搭载比“索引测量"快 50 倍的 Scan-AF 功能与高精度自动 XY 平台，可在亚微米精度下高速测量数十毫米级大范围。
适用于：
  • 断面曲线无法检出的精密加工件翘曲
  • 注塑件形状不良
  • 摩擦学中的磨损量及划痕定量评价

特长

  • Scan-AF 测量头
    大范围・高精度测量
    测量范围：XYZ 60×60×10 mm
    分辨率：XY 0.1 µm、Z 0.01 µm
  • Scan-AF 高速测量
    粗糙度测量与国际标准高度相关
  • 标配国际规格（ISO） compliant 软件 MitakaMap
    支持断面/面区域粗糙度・形状评价
  • 桌面小型系统
    安装尺寸：400 mm×400 mm
    重量：31 kg

规格

  • 行程（X, Y, Z）：60 × 60 × 60 mm
  • XY 轴光栅分辨率：0.1 µm
  • Z 轴光栅分辨率：0.01 µm
  • 激光光斑直径：1 µm（100× 时）
  • 激光：λ = 635 nm，功率 ≤ 1 mW

PF-60 擅长测量示例


样品测量要点
HD 悬架轻触即变的翘曲/扭曲
IC 图案大面积微细形貌
指纹柔软物非接触高精度
头发捕捉细微变化
金刚石磨粒刃口形状、突起高度
车刀刀尖3D 显示、断面尺寸、粗糙度
晶圆翘曲整体翘曲/波纹高速测量
磨削面振纹面区域粗糙度演算
刹车片磨损毛刺/接触面/磨损面分割及载荷曲线测量


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