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日本tecnostrap半导体制造HOT N₂ 加热器半导体与液晶制造设备的排气管道常被大量粉末污染,存在堵塞风险。HOT N₂ 加热器利用现有稀释氮气,低成本即可预防并解决上述问题。同时还可缩短低温泵再生时间,并可用于加载锁腔体的洁净吹扫。
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厂商性质:经销商
更新时间:2025-11-29
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日本tecnostrap半导体制造HOT N₂ 加热器
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