日本csc-biz晶圆洁净室灰尘颗粒检查UV光源

日本csc-biz晶圆洁净室灰尘颗粒检查UV光源
日本csc-biz晶圆洁净室灰尘颗粒检查UV光源

1. 洁净室出身
• 全铝阳极 + 耐酒精涂层，无风扇自然冷却，0.3 μm 颗粒测试 ≤ 10 个/ft³，可直接用在 Class 1000 以下区域
• 电源一体内置，无外部镇流器，可通过传递窗
2. 双波长一键切换
• 365 nm（UV-A 高功率）／ 254 nm（UV-C 杀菌）同灯壳，拨码即可切换，无需换灯管
• 365 nm 照度 7000 μW/cm²＠100 mm，5 μm 荧光纤维 1 秒显形
• 254 nm 照度 3500 μW/cm²＠100 mm，30 s 表面杀菌 1 log 降
3. 低臭氧 & 长寿命
• 低臭氧灯管，照射后室内 O₃ < 0.01 ppm，无需排风等待
• 灯管寿命 365 nm 约 3000 h，254 nm 约 2000 h，用户 5 秒可自换
4. 高照度小光束
• 反射罩，出光口 50 × 75 mm，中心光斑 15 mm 内照度均匀性 ±5 %
• 适合“点对点"检查晶圆边缘、COF 引线、Micro-LED 芯片局部污染
5. 无级调光 & 定时
• 10–100 % 旋钮调光，带 30 min 定时熄灭，防止误操作过曝
• 也可外接脚踏开关，双手拿样品即可点亮
6. 多种安装
• 手提、桌面、悬臂、导轨四种配件；重量 0.9 kg，单手 360 ° 任意停
• 可选耐热外套，灯表温升 < 10 ℃，连续 24 h 点亮不扰层流
7. 典型用途
• 365 nm 模式：激发荧光纤维、硅油、胶水残留 → 即时发现 5 μm 级 killer particle
• 254 nm 模式：FOUP、治具、包材表面快速灭菌，替代酒精擦拭
• 清洁验证：清洗后→365 nm 照→无荧光即判定“有机物已去除"