Yamada山田光学洁净室晶圆检测卤素光源

Yamada山田光学洁净室晶圆检测卤素光源

Yamada山田光学洁净室晶圆检测卤素光源

1. 试样表面照度 ≥ 400 000 lx
2. 卤素灯色温高，光斑锐利、照明均匀且稳定
3. 采用冷光镜，热辐射仅为传统铝镜的 1/3，样品温升极小
4. 两段亮度切换机构，一键实现高照度/低照度观察
• YP-150I：照射范围 φ30 mm
• YP-250I：照射范围 φ60 mm（可选轴流风扇型或管道风扇型）

高亮度卤素光源装置是洁净室内半导体晶圆表面品质管理的工具，凭借高照度照明，可识别表面小至 0.2 μm 的微小颗粒。

1. 光学性能
• 中心照度：≥ 400 000 lx（照射区 φ60 mm）
• 可识别粒子：0.2 μm 级（取决于操作者与环境）
• 色温：3 200 K 卤素灯，显色指数 Ra≈100，缺陷与底色对比度高
• 冷光镜 + 二向色滤热片，红外辐射量 ≤ 传统铝镜 1/3，样品温升 < +2 ℃（30 s 照射）
2. 亮度控制
• 2 段切换：高照度（HI）/低照度（LO）一键切换，无需关灯换档
• 调光范围：20 %–100 % 连续可调（选配外部调光器）
3. 机型与散热
• YP-250I/AF：轴流风扇型，顶部排热，适合层流罩内单机使用
• YP-250I/DF：管道风扇型，可外接 Ø100 mm 风管，将热排至下技术夹层，满足 ISO 5（100 级）以上区域

  
  

• 典型应用
• 12-300 mm 半导体晶圆：划痕、雾斑 (Haze)、Slip、研磨痕、CMP 残留
• 液晶面板：玻璃基板划伤、颗粒污染、ITO 成膜缺陷
• 掩模版、光掩膜：铬膜缺陷、微粒检查