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日本DAIHEN等离子体发生用电源・自动匹配器通过良好的重现性和高精度输出，有助于实现稳定的高密度等离子体发生● 拥有从1kW到3kW的广泛产品线
产品型号：厂商性质：经销商更新时间：2025-12-22访 问 量：19
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日本DAIHEN等离子体发生用电源・自动匹配器
日本DAIHEN等离子体发生用电源・自动匹配器
| 规格参数 | 1/1.5kW型号 | 3kW型号 |
|---|---|---|
| 输出稳定性 | ±0.5%以内 | ±1%以内 |
| 脉冲频率 | 100Hz - 2kHz（1级） | ‐ |
| 外形尺寸(W) | 420mm | 480mm |
| 外形尺寸(H) | 170mm | 199mm |
| 外形尺寸(L) | 530mm | 580mm |
●再現性の良い高精度出力で、安定した高密度プラズマの発生に貢献
●1kWから3kWまでの幅広いラインナップ
●整合器を含めたフル・サポートにも対応
| 定格出力 | 1/1.5kW | 3kW | |
|---|---|---|---|
| 出力安定度 | ±0.5%以内 | ±1%以内 | |
| パルス周波数 | 100Hz - 2kHz （1レベル） | ‐ | |
| 外形寸法 | 幅(W) | 420mm | 480mm |
| 高さ(H) | 170mm | 199mm | |
| 奥行き(L) | 530mm | 580mm | |
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