韩国PlayTG半导体高纯度气体PTFE制过滤器

韩国PlayTG半导体高纯度气体PTFE制过滤器
韩国PlayTG半导体高纯度气体PTFE制过滤器

• BIKAL™ GFP系列高纯度PTFE气体过滤器
• 产品类型: PTFE（聚四氟乙烯）气体过滤器
• 应用领域: 高纯度气体系统，主要用于半导体制造工艺

主要特点与优势

1. PTFE气体过滤器 - 采用聚四氟乙烯过滤材料
2. 耐腐蚀性和兼容性 - 优异的化学稳定性和材料兼容性
3. 低压降高流量性能 - 在保证过滤效果的同时实现高流量、低压降
4. 紧凑直径设计 - 便于安装，节省空间

技术规格

材料规格

• 过滤元件: PTFE（聚四氟乙烯）
• 支撑材料: PFA（全氟烷氧基树脂）
• 外壳: 电解抛光316L不锈钢

操作条件

• 入口压力: 1MPa @ 20℃
• 操作温度: 120℃

过滤性能

• 去除精度: ≥0.0025μm（2.5纳米）
• 颗粒截留率: 99.9999999%（9 LRV）- 可去除所有颗粒
• 氦气泄漏率: 1×10⁻⁹cc/sec
• 内表面光洁度: ≤5.00 μin Ra

产品型号与尺寸

• GFPV4D19L84 - 包含A、B、C、D、E、F六个维度的具体尺寸

性能特点

• 专为高纯度气体系统设计
• 具有出色的过滤精度和可靠性
• 紧凑的设计便于系统集成和安装

GFP系列PTFE气体过滤器相比金属过滤器(GFT系列)具有更低的操作压力和温度范围（1MPa/120℃ vs 20MPa/460℃），但保持了相同的超高过滤精度（2.5纳米）。PTFE材料提供了更好的化学惰性和耐腐蚀性，特别适合对材料兼容性要求高半导体气体处理应用。