Sumita半导体曝光在线式紫外线传感器光量计

Sumita半导体曝光在线式紫外线传感器光量计

Sumita半导体曝光在线式紫外线传感器光量计

• 在线实时监测 254 nm、365 nm、405 nm 等关键 UV 波段的光强度或累积光量，用于曝光机、固化炉、杀菌灯等设备的过程控制与灯管寿命管理

  。

2. 检测性能

• 波长覆盖：
• 254 nm：0.1 – 30 mW/cm²（高灵敏度头 0.01 – 3 mW/cm²）
• 365 nm：3 – 900 mW/cm²（高灵敏度头 0.3 – 90 mW/cm²）
• 405 nm：300 – 9 000 mW/cm²
• 重复精度：±2 % FS；温度漂移：≤0.1 % FS/℃

  。

3. 工作模式

• 光强度模式：实时监测瞬时光强，范围 0 – 125 %。
• 积分模式：监测累积光量，范围 0 – 200 %。
• 阈值可 1 % 步进设置，支持外部示教/复位

  。

4. 输出接口

• 数字：检测/应答 NPN 集电极开路 30 V 100 mA。
• 模拟：电压 1 – 5 V 或电流 4 – 20 mA，可切换；对应 0 – 100 %， 125 %

  。

5. 电气与环境

• 供电：DC 12 – 24 V ±10 %，功耗 ≤50 mA。
• 响应时间：≤300 ms。
• 使用环境：−25 – +55 ℃、35 – 85 %RH（无凝露）。
• 防护：约 140 g 紧凑放大器本体，配 2 m 屏蔽电缆

  。

6. 典型应用

• 半导体曝光、UV 胶固化、水处理杀菌、磁粉探伤、印刷油墨固化、薄膜表面改性等场景，可反馈控制灯管输出功率，实现光强度稳定与节能维护