日本kashiyama洁净室小型空冷干式真空泵

日本kashiyama洁净室小型空冷干式真空泵

日本kashiyama洁净室小型空冷干式真空泵

小型干式真空泵的规格表，定位为“节能 + 空冷 + 免维护"的洁净干泵，适用于负载锁定室（Load Lock）、传送室（Transfer Chamber）、分析仪器等中低真空场合。

 系列划分

• SDE90/120/200 — 基础型（X 后缀）
• SDE303/603/1203 — 高抽速型，分 X（节能）与 TX（高耐工艺）两种版本
  ※ 数字 ≈ 抽速 ÷ 10（例：SDE1203 ≈ 20 000 L/min）

2. 性能速览

3. 共同技术亮点

• 空冷式 — 无需外接冷却水，洁净区部署更简单
• 垂直螺杆 + 无接触 — 零油反流，低颗粒、低振动
• 节能设计 — X 型功耗比同级油泵下降 30 % 以上
• 内置温控 & CMS 端口 — 可远程监控温度、电流、状态
• 免维护周期长 — 仅抽洁净气体时推荐 2 年一次保养

4. 典型用途

• 半导体 Load Lock / Transfer / Metrology Chamber
• FPD、LED、PV 产线的搬运室、缓冲室
• 分析仪器（SEM、XPS、AES）前级泵
• 可与 SD/SM 系列组合，作为前级干泵使用