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日本kashiyama半导体刻蚀高耐蚀干式真空泵转子相互无接触，零摩擦、低粉尘，MTBF 大幅延长新型分区加热系统：保持泵腔温度梯度，减少副产物沉积，提高工艺耐受性
产品型号：SDX600/SDT600厂商性质：经销商更新时间：2026-01-07访 问 量：13
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日本kashiyama半导体刻蚀高耐蚀干式真空泵
日本kashiyama半导体刻蚀高耐蚀干式真空泵
| 机型 | 抽速* | 极限压力 | N₂流量 | 冷却水 | 功耗 | 外形尺寸(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SDX600 | 10,000 L/min | 0.5 Pa | 0–80 SLM | 3 L/min | 1.5 kW | 695×285×850 |
| SDT600 | 18,000 L/min | 0.3 Pa | 0–120 SLM | 4 L/min | 3.0 kW | 695×285×850 |
| SDX1200 | 19,000 L/min | 0.5 Pa | 0–80 SLM | 3 L/min | 1.65 kW | 850×380×950 |
| SDT1200 | 30,000 L/min | 0.3 Pa | 0–120 SLM | 4 L/min | 3.15 kW | 910×420×900 |
| SDX1800 | 50,000 L/min | 0.5 Pa | 0–80 SLM | 3 L/min | 2.1 kW | 1050×515×950 |
| SDT1800 | 100,000 L/min | 0.3 Pa | 0–120 SLM | 4 L/min | 3.3 kW | 1050×515×950 |
| SDH3000* | ※咨询 | ※咨询 | 4 L/min | 3.3 kW | 1050×515×950 | |
| SDH6000* | ※咨询 | ※咨询 | 4 L/min | 3.7 kW | 1050×515×950 |
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