NAGANO KEIKI半导体产业用高温压力传感器

NAGANO KEIKI半导体产业用高温压力传感器

NAGANO KEIKI半导体产业用高温压力传感器

ZT17 是一系列面向半导体制造、可测 200 °C 的“高温压力传感器/变送器"

1. ZT17-120 系列（原标准型）
• 介质温度：-20 … +120 °C
• 传感部填充高纯度液体作为热缓冲，属于“液封式"结构
• 压力量程：0～0.3 / 0.5 / 1 / 2 / 3.5 / 5 / 10 / 20 MPa 及对应的 -0.1… 表压段
• 精度：±0.5 %FS（23 °C 基准）
• 输出：4-20 mA（二线）或 0/1-5 VDC（三线）
• 接液材质：Co-Ni 系感压元件＋SUS316L 接头；表面平均粗糙度 0.18 μm Ra， 0.7 μm Rz
• 密封指标：He 检漏 5×10⁻¹ Pa·m/s 以下，0.1 μm 以上粒子 ≤ 1 个/min
• 认证：CE（EMC）、RoHS
2. ZT17-200 系列（高温干式型，新品）
• 介质温度：-20 … +200 °C
• 采用新开发的“无封装液"干式感压元件，避免高温下填充液挥发或渗透
• 温度补偿范围 15…200 °C；温漂 Zero ±1 %FS、Span ±3 %FS
• 综合精度：±0.65 %FS（含线性、重复性、迟滞）
• 输出、量程档与 120 型相同，但电源电压 10-30 VDC
• 接液部全 SUS316L，经超临界清洗与特殊表面处理，粒子＜0.1 μm（5 V 等电位下 LVT 测试“零计数"）
• 接头形状：S 形、T 形一体，可选 1/4 VCR、1/4 U 或 3/8 VCR 螺纹
• 同样满足 CE、UKCA、RoHS