热门搜索：日本物性测试仪、石川擂溃机、水泥水分计、脱气消泡罐、粉体硬度计、日本食感试验机
深圳秋山工业设备有限公司 全国咨询热线：13823182047
日本techvision旋转照射式晶圆UV固化装置UVC-408是Techno Vision推出的高性能UV固化装置，采用旋转照射方式实现晶圆全区域均匀固化，并搭载高效率小流量氮气置换技术，在确保固化质量的同时大幅降低运行成本和设备占用空间，是半导体制造中光刻胶及各类薄膜UV固化工艺的理想选择
产品型号：UVC-408厂商性质：经销商更新时间：2026-02-06访 问 量：14
立即咨询
联系电话：13823182047
日本techvision旋转照射式晶圆UV固化装置
日本techvision旋转照射式晶圆UV固化装置.
旋转照射方式有效消除传统固定照射造成的照射不均问题。
| 特性 | 说明 |
|---|---|
| 氮气用量 | 相比传统装置大幅减少 |
| 置换效果 | 同时确保可靠的置换效果 |
| 核心技术 | 高效率、小流量N₂置换技术 |
| 成本项目 | 节约效果 |
|---|---|
| 低功耗 | 降低电力消耗 |
| 微量气体消耗 | 减少氮气等气体使用成本 |
| 运行成本（Running Cost） | 整体大幅降低 |
| 效率提升点 | 效果 |
|---|---|
| 装置成本削减 | 降低设备投资 |
| 洁净室安装空间减少 | 减少昂贵的洁净室占用面积 |
| 综合制造流程效率化 | 整体优化生产效率 |
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | UVC-408 |
| 光源 | 高压水银灯 |
| 对应晶圆 | 8英寸（200mm）/ 12英寸（300mm） |
| 照射方式 | 旋转型均匀照射 |
| 特殊功能 | 高效率小流量N₂置换 |
| 主要应用 | UV薄膜固化（光刻胶、聚酰亚胺等） |
您的位置：
