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日本NCC晶圆晶片附着粉尘分级计量设备10μm～100μm粗大粒子（分级计量），收集落下并附着于晶片上的粉尘，进行分级计数
产品型号：DTSP10-03厂商性质：经销商更新时间：2026-02-28访 问 量：9
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日本NCC晶圆晶片附着粉尘分级计量设备
日本NCC晶圆晶片附着粉尘分级计量设备
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 测量对象 | 落下的附着粉尘（非浮游粉尘） |
| 粒径范围 | 10μm～100μm粗大粒子（分级计量） |
| 采样方式 | 使用样品收集板（4英寸硅晶片） |
| 测量原理 | 收集落下并附着于晶片上的粉尘，进行分级计数 |
| 数据输出 | 测定结果可在电脑上显示并保存 |
| 安装要求 | 必须安装在100级左右的无尘环境中 |
| 痛点 | 解决方案 |
|---|---|
| 用粘性胶带采样+显微镜观察计数，效率低下费时 | 自动分级计数，高效快速 |
| 想调查装置内附着的尘埃，但找不到好的测定方法 | 晶片采样，可放入设备内部 |
| 想调查高温炉内、运行中传送带等附着的灰尘 | 使用2英寸晶片（直径50mm）可进入狭小空间 |
| 参数 | DTSP10-02 | DTSP10-03 | DTSP10-03（2英寸版） |
|---|---|---|---|
| 最小可测粒径 | 10μm | 10μm | 10μm |
| 粒径区分 | 10μm、30μm、50μm、100μm | 10μm、30μm、50μm、100μm + 11～99μm范围内可设定数值 | （同左） |
| 晶片尺寸 | 4英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
| 最大测试范围 | Ф80mm | Ф80mm | Ф30mm |
| Trimming功能 | 有 | 有 | 无 |
| 切换显示 | 无 | 有（可区分表示） | （同左） |
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