日本P.R.A.半导体前工序专用可调式高压电源

日本P.R.A.半导体前工序专用可调式高压电源

日本P.R.A.半导体前工序专用可调式高压电源

一、产品核心定位与资质

1. 应用场景：专为半导体制造前工序设计，适配静电卡盘（ESC）的高压供电需求，是半导体制造设备的核心配套电源；

2. 企业资质：企业已取得ISO9001:2015 质量体系认证，产品生产符合国际质量标准，且为日本千叶本土生产，品控有保障。

二、核心产品规格

1. 输出参数：输出电压 ±1~±5kV，输出电流 1~10mA，电压、电流可在范围内无阶调节；

2. 极性与模式：支持单极 / 双极模式，具备接地（FG）、浮地（Floating）、偏置（Bias）多种工作模式，可按需选择；

3. 操作与兼容：支持面板本地操作 + 外部信号远程控制，配备 RS-232 等通讯接口，可接入工控系统；产品符合RoHS 指令，有害物含量达标；

4. 附加功能：可选择配备 “電" 相关检测 / 控制功能（文档标注有 / 无可选），适配不同工艺的监测需求。

三、产品核心优势

1. 工艺适配性强：针对静电卡盘的库仑型、J-R 型（约翰森 - 拉贝克型）做了专属优化，改进了电流控制、极性反转、放电保护机制，匹配两种主流静电卡盘的工作特性；

2. 高可靠性：产品主打高信赖性、长使用寿命，且采用无继电器设计，减少机械故障点，适配半导体工厂连续化生产的高要求。