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纳米计量技术 AIST 低残膜均一性压印设备ImpFlex-Essential 纳米压印机,基于日本产综研 AIST 技术开发,搭载低残膜、高均一性压印引擎,性价比突出。支持多品种模具与新型 LED UV 照射,适配气泡消除气体工艺,结构紧凑可扩展,是微纳加工与半导体研发的理想设备。
产品型号:ImpFlex-Essential
厂商性质:经销商
更新时间:2026-03-28
访 问 量:9
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高性价比压印引擎:搭载与 ImpFlex 共通的压印引擎,实现低残膜与优异膜厚均一性,同时通过精简配置大幅降低价格。
灵活可扩展设计:以最小必要构成为基础,可通过丰富选项实现功能升级,适配多品种模具与多样化工艺需求。
新型 UV 照射系统:配备新开发的 LED 光源进行 UV 照射,能耗更低、寿命更长,保障图案固化精度。
气泡消除工艺适配:支持气泡消除气体工艺,可在大气或可控气体环境下完成压印,提升图案质量与良率。
便捷操作与稳定结构:配备触控式操作面板,机身紧凑稳固,搭载 Flexible Thruster 柔性推力机构,确保压印过程均匀稳定。
半导体器件、MEMS 器件的微纳结构压印制备
新型光学器件、LED / 光子晶体的图案化工艺
柔性电子、生物芯片等领域的微纳结构制造
纳米压印材料与工艺的基础研究与小批量试制
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