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FLOVEL 电动 XY 载物台双面光学显微镜

FLOVEL 电动 XY 载物台双面光学显微镜日本 FLOVEL TOMOS-80XY 双面显微镜系统,搭载 8 英寸电动 XY 载物台(200×200mm 行程)与自动对焦,双镜筒双摄像头同步观测正反两面,支持表里尺寸 / 位置偏差测量、落射 / 透射照明,适配半导体、MEMS、水晶振子等精密器件的双面检测,320 万像素成像,Windows11 系统,全自动测量无人员差异

  • 产品型号:TOMOS-80XY
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-04-09
  • 访  问  量:9
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详细介绍

FLOVEL  电动 XY 载物台双面光学显微镜 FLOVEL  电动 XY 载物台双面光学显微镜

1. 产品定位与核心价值

TOMOS-80XY 是日本 FLOVEL 推出的工业双面显微镜系统,专为半导体、MEMS、电子元器件等精密器件的双面同步检测设计。设备集成双光路、电动载物台、自动对焦与全自动测量软件,可一次性完成工件正反两面的尺寸、位置偏差、外观缺陷检测,大幅提升检测效率,消除人工测量误差,是精密制造领域的核心质检设备。

2. 核心技术与产品特点

🔍 双面同步观测与测量

  • 双镜筒双光路设计:正位 + 倒立双镜筒,同步采集工件正反两面图像,无需翻转工件,一次装夹完成双面检测。

  • 全自动测量功能:支持表里尺寸测量、表里位置偏差测量,自动识别标记中心坐标,实现无人员差异的自动化检测,适配量产线高速质检。

  • 多照明模式:支持落射、透射、落射 + 透射三种照明方式,适配电子纸、滤网、半导体图案等不同材质工件的清晰成像。

⚙️ 高精度电动平台与光学系统

  • 8 英寸电动 XY 载物台:200mm×200mm 大行程,适配 8 英寸晶圆、大尺寸 PCB 等工件的全域扫描检测。

  • 自动对焦功能:Z 轴 ±10mm 行程,带自动对焦,确保不同高度工件成像清晰,无需手动调整。

  • 高分辨率成像:2 个 320 万像素摄像头(彩色 / 黑白可选),搭配 5/10/20 倍物镜,细节还原精准,满足微米级尺寸测量需求。

  • 宽光谱成像能力:支持 400~1700nm 可见光至近红外波段拍摄,适配特殊光学检测需求。

🖥️ 智能操作与数据管理

  • 一体化控制系统:搭载 Windows11 Pro 系统,竖屏液晶显示器正反双画面同步显示,操作直观。

  • 图像归档与分析:支持双面图像同步保存、数据导出,可追溯检测过程,适配质量管控体系。

  • 高稳定性硬件:Camera Link 接口,黑白成像模式,抗干扰能力强,适配工业现场长期连续运行。



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