Excel Precision 双频氦氖激光干涉仪器

Excel Precision  双频氦氖激光干涉仪器 Excel Precision  双频氦氖激光干涉仪器

1. 产品定位与核心价值

2. 核心技术与产品特点

🔬 塞曼效应双频技术，超高稳定性

• 塞曼效应原理：通过在激光管施加纵向磁场，使氖原子能级分裂为两个频率对称分布的能级，实现双频振荡，频率差与磁场强度成正比，激光频率稳定性，测量精度与重复性行业。

• 纳米级分辨率：最小读取分辨率达 0.3 纳米，可满足半导体、精密加工等领域的超高精度位移测量需求。

⚡ 高速测量与多轴同步

• 高速测量能力：凭借高分频频率，测量速度可达 1.0m/s（取决于分辨率），适配高速运动平台的实时测量需求。

• 多轴扩展支持：单台激光头可支持最多 6 轴同步测量（搭配 6 个干涉仪、6 个接收器），大幅降低多轴设备的系统成本。

🔗 全场景兼容与定制化

• 系统兼容性：与所有 Excel 光学产品兼容，可无缝接入客户现有测量系统，无需额外改造。

• 定制化服务：支持根据客户需求定制系统配置，适配不同行业的特殊应用场景。

📐 工业级可靠性

• 全球装机量超 5000 台，经过数十年市场验证，性能稳定可靠，可在工业现场长期稳定运行。

3. 核心应用场景

• 半导体行业：晶圆 / FPD 步进机、电子束设备、IC 检测设备的位移测量与定位；

• 精密加工行业：精密测量机、超精密加工机床的精度校准与位移控制；

• 光学检测领域：光学干涉仪、光学硬件的研发与检测；

• 其他领域：需要超高精度位移测量的科研与工业场景。

4. 产品亮点

• 美国 Excel Precision 原厂技术：位移测量领域的级设备，全球装机量超 5000 台；

• 塞曼效应双频技术：超高频率稳定性，测量精度与重复性行业；

• 纳米级分辨率：0.3 纳米最小读取分辨率，满足半导体、精密加工的超高精度需求；

• 高速多轴测量：1.0m/s 测量速度，支持最多 6 轴同步测量，系统集成成本低；

• 全场景兼容与定制化：与 Excel 光学产品无缝兼容，支持客户定制化系统配置。