日本 Takano 振动追踪型分光干涉仪器

Name: 日本 Takano 振动追踪型分光干涉仪器VTSI
Brand: 其他品牌
Price: 1777 CNY
Availability: InStock

日本 Takano 振动追踪型分光干涉仪器日本 Takano VTSI 振动追踪型分光干涉仪，采用 VTSI 技术，可在常规实验室环境下实现非接触式高精度 3D 形貌测量，替代传统白光干涉仪与原子力显微镜，是半导体、精密制造领域的高效测量解决方案

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日本 Takano 振动追踪型分光干涉仪器日本 Takano 振动追踪型分光干涉仪器

这款设备搭载 Takano 的振动追踪型分光干涉技术，突破了传统白光干涉仪对隔振平台的依赖，可在常规实验室环境下稳定工作，大幅降低了设备部署与使用成本。它采用非接触式测量方式，不会对样品表面造成任何损伤，适用于各类精密、易划伤样品的检测需求。

设备的测量效率与精度表现优异，可在约 2 秒内完成 2.56×2.56mm 视场的全范围扫描，高度分辨率可达 1 纳米，测量结果与原子力显微镜高度吻合，为研发与生产环节提供可靠的数据支撑。

设备通过白光干涉与光谱解析的结合，实现了对样品表面的连续高度信息采集。同时，系统内置的振动追踪与补偿算法，可有效抑制环境振动对测量结果的影响，无需额外搭建隔振系统，即可获得稳定、可重复的测量数据。

测量过程无需移动光学镜头，仅通过光谱分析即可完成全量程扫描，大幅缩短了测量时间，提升了检测效率，尤其适合产线批量样品的快速检测需求。

广泛应用于半导体制造领域，可用于晶圆表面形貌、台阶高度、薄膜厚度的检测，以及微纳结构的形貌表征。同时，也适用于精密加工、光学元件、MEMS 器件等领域的表面粗糙度、平面度、轮廓度测量，是材料研发与质量控制环节的重要检测工具。

我们可提供设备的现场安装调试、操作培训及售后技术支持服务，协助客户快速完成设备部署与使用。同时，也可根据客户的具体测量需求，提供定制化的测量方案与技术咨询服务，为客户的研发与生产环节提供可靠保障。

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