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ULVAC 爱发科 等离子用直流电源设备日本 ULVAC DC 系列等离子直流电源，兼具可靠性与高性能弧处理功能，采用强制风冷无需冷却水，支持精密功率控制与高速 ARC 处理，适用于等离子清洗、蚀刻等半导体与真空工艺场景。
产品型号：DC系列 DC-2、DC-4厂商性质：经销商更新时间：2026-04-30访 问 量：17
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ULVAC 爱发科 等离子用直流电源设备 ULVAC 爱发科 等离子用直流电源设备
轻量省空间设计：采用紧凑化结构设计，节省安装空间，便于设备集成与布局。
宽电压规格可选：10/20kW 型号提供 800V 和 1000V 两种输出电压规格，适配不同工艺需求。
精密等离子输出控制：功率控制精度可达设定值的 ±1% 以下，可实现对等离子体的稳定、精准输出控制。
强制风冷设计：采用强制风冷冷却方式，无需外接冷却水，简化系统配置，降低使用成本。
高速 ARC 处理功能：搭载高性能 ARC 功能与高速 ARC 处理电路，可快速响应并处理弧光放电，保障工艺稳定性。
灵活的扩展能力：10/20kW 型号最多支持 12 台并联运行，总功率可达 240kW，满足大规模工艺生产需求。
合规性认证：产品符合 CE、SEMI F47、RoHS 标准（DCS 及 400V 规格除外），适配半导体行业的规范要求。
| 项目 | DCS0052B | DC-2 | DC-4 |
|---|---|---|---|
| 输入电压 | 单相 AC100V/200V | 三相 AC200V/220V | 三相 AC200V/220V |
| 输入容量 | 1kVA 以下 | 3.5kVA 以下 | 6.2kVA 以下 |
| 额定功率 | 500W | 2kW | 4kW |
| 额定电流 | 1.25A | 5A | 10A |
| 额定电压 | 800V | 800V | 800V |
| 点火电压 | 约 1100V | 1200V | 1200V |
| 控制精度 | 额定功率的 ±1% 以下 | 设定值的 ±1% 以下 | 设定值的 ±1% 以下 |
| 控制范围 | 额定功率的 10-100% | 额定功率的 1-100% | 额定功率的 1-100% |
| 外部控制方式 | 模拟 / 数字 | 模拟 / 数字、RS232C/RS485 串行控制 | 模拟 / 数字、RS232C/RS485 串行控制 |
| 并联运行 | 不支持 | 支持（10/20kW 型号） | 支持（10/20kW 型号） |
| 冷却方式 | 强制风冷 | 强制风冷 | 强制风冷 |
半导体制造工艺中的等离子清洗、蚀刻设备
真空镀膜设备的等离子辅助工艺
电子元件表面处理设备的等离子发生系统
各类需要稳定直流等离子输出的科研与工业实验场景
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