日本山田光学 高亮度卤素光源装置

核心技术特点

• 超高照度缺陷检测

  照度可达 400,000Lx 以上，为太阳光的 4 倍以上，能清晰呈现晶圆表面微米级划痕、雾斑、异物等缺陷；采用冷镜技术，大幅降低光源发热对精密工件的影响，避免热变形风险。
• 适配不同检测场景

  YP-150I 照射直径 30mm，适用于 6 英寸及以下晶圆关键区域检测；YP-250I 照射直径 40mm，适配更大尺寸工件。两者均采用强制风冷设计，保障长时间稳定运行。
• 稳定可靠的电源系统

  配套专用电源 HPS-150/HPS-250，支持电压调节式光量控制，综合波动率≤1%，确保光照输出稳定；宽电压输入（AC100~240V），适配不同地区供电标准。
• 人性化设计与维护便捷

  灯泡采用易更换设计，YP-150I 适配 JCR15V150W 灯泡，YP-250I 适配 FLC24V250W 灯泡，寿命 30~50 小时；设备尺寸紧凑，带安装轴设计，便于集成到生产线或检测工位。

适用场景

• 半导体制造：晶圆表面异物、划痕、研磨不均等缺陷检测

• 显示行业：液晶玻璃基板、偏光片等表面质量检查

• 精密加工：光学元件、玻璃制品的外观缺陷目视检测

• 质量管控：生产过程中关键工序的人工与自动化检测辅助