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Hisol 珀尔帖强制风冷式加吸热夹具设备

Hisol 珀尔帖强制风冷式加吸热夹具设备HPE 系列是 Hisol 专为半导体晶圆测试设计的珀尔帖加吸热夹具,采用强制风冷无需水循环,支持 4/6 英寸晶圆,控温范围 + 10℃~+120℃,具备优异的升降温响应性,操作便捷,适合高精度温度特性测试场景。

  • 产品型号:HPE 系列 HPE40+10
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-05-26
  • 访  问  量:17
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详细介绍

Hisol  珀尔帖强制风冷式加吸热夹具设备 Hisol  珀尔帖强制风冷式加吸热夹具设备

产品概述
HPE 系列加吸热夹具是 Hisol 推出的珀尔帖式温控卡盘,专为半导体晶圆的温度特性测试设计,采用强制风冷散热,无需外接冷却水循环装置,简化了系统配置,同时具备快速升降温响应,广泛应用于探针台等测试设备中。
核心技术特点
  • 珀尔帖温控技术

    采用珀尔帖元件作为加热和冷却源,升温、降温响应性优异,控温精度高,能为晶圆提供稳定均匀的温度环境,满足高精度测试需求。

  • 强制风冷设计,无需水循环

    珀尔帖单元采用强制风冷散热,无需配置冷却水循环装置,减少了系统复杂度和维护成本,安装与使用更加便捷。

  • 多尺寸适配,覆盖主流晶圆规格

    提供 4 英寸(HPE40+10)和 6 英寸(HPE60+10)两种型号,可适配主流晶圆尺寸,满足不同测试场景的需求。

  • 控温范围适中,适配常温附近测试

    控温范围为 + 10℃~+120℃(6 英寸型号上限为 + 110℃),可满足常温到中温段的温度特性测试需求,覆盖大多数消费电子与工业器件的测试场景。

主要应用场景
  • 4/6 英寸半导体晶圆的高精度温度特性测试

  • 探针台设备的常温 - 中温段测试配件

  • 器件可靠性测试中的温度循环与老化测试

  • 无冷却水条件下的晶圆温控测试场景

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