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日本 HORIBA 堀场 微量浓度监测仪器日本 HORIBA 堀场 HF-700A 是专为半导体湿法工艺设计的微量浓度监测仪，可在硫酸 溶液中稳定连续测量 ppm 级 HF 浓度，搭载双槽中和液自动切换、自动校正功能，支持多种测量模式，助力高效工艺管理。
产品型号：HF-700A厂商性质：经销商更新时间：2026-05-29访 问 量：11
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日本 HORIBA 堀场 微量浓度监测仪器 日本 HORIBA 堀场 微量浓度监测仪器
稳定连续的微量测量
通过自动中和功能连续中和样品水，并采用堀场的氟离子电极技术，实现了对硫酸溶液中微量浓度的连续、稳定测量。
多模式灵活运行
可根据用途选择两种测量模式：优先考虑响应速度的常规模式（NORMAL MODE），以及节省试剂消耗的试剂节约模式（ECO MODE）。同时支持实时连续测量与间歇测量两种运行方式。
降低药剂更换频率
搭载中和液双槽自动切换功能，有效延长药剂更换周期，减少维护频次，降低运行成本。
便捷的自动校正功能
可通过显示器前面的触摸面板或外部输入信号进行自动校正，确保测量精度的长期稳定。
丰富的通讯与输出接口
配备 RS-232C 通讯接口、传送出力和接点出力，方便数据传输与设备联动，集成到工厂自动化系统中。
| 参数项 | 规格详情 |
|---|---|
| 型号 | HF-700A |
| 测量对象 | 硫酸 - 溶液中的微量（HF） |
| 测量范围 | ppm 级（微量浓度） |
| 测量模式 | 常规模式（NORMAL）/ 试剂节约模式（ECO） |
| 运行方式 | 连续测量 / 间歇测量 |
| 校正方式 | 自动校正（触摸面板或外部信号触发） |
| 中和液系统 | 双槽自动切换 |
| 通讯接口 | RS-232C |
| 电源 | AC 100~240V |
半导体制造行业：晶圆厂湿法蚀刻、光刻胶去除等 SPM 工艺中，实时监测浓度，确保工艺稳定性与产品良率。
电子元件制造行业：类似的酸性湿法处理工艺中，对微量 HF 浓度的在线监测与控制。
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